首先来讲，讲到真空泵机组的维护与维修，点来讲，关于其充入的保护性气体，纯度上不应该小于99.99%。紧接着，就真空泵机组设备来讲，在很大的程度上也就是要注意不允许进行使用易燃易爆与具有腐蚀性气体作为保护气氛。

    紧接着，就真空泵机组的维护与维修，关于设备表面以及其仪表表面在很大的程度上也就是要注意保持清洁，擦拭炉体内壁不允许其出现有带有水份或者是沾有非真空类用油的抹布进行擦拭。

    接下来，对于真空泵机组上的维护和维修，气动系统上面的气动三连件上的油水分离器要注意经常放水，油雾器当中应该是要注意注入真空扩散泵油。且设备在进行使用的时候，对于整机电压在很大的程度上也就是应该是要保证在350～420 V范围当中。三相要保持平衡。

   再者，我们其实也就是要注意一下真空泵机组上的规管或者是电接点压力表与热偶等地方也就是应该要注意经常涂上扩散泵油，使它和座之间形成了一层油膜，这样一来，就能防止设备出现漏气的现象。就上述各个部分以及其法兰连接的地方不允许长期进行使用真空封泥密封，对于各个部分的螺栓也就是要注意定期进行检查，当发现设备出现松动的时候，应该要及时拧紧。

    后，就真空泵机组进行工作的时候，要注意观察一下各个仪表上的显示情况，以及其各个泵的声音，这样来讲，就其在很大的程度上也就是能方便我们及时的发现异常，然后方便我们找出问题。再者，就真空泵机组的使用环境，在相对湿度8处于5%以下，温度也就是会在10～40℃。